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◆CCD
電荷耦合器件(Charger Coupled Device,縮寫為CCD ) ,硅基光敏元件的響應(yīng)范圍在短波近紅外區(qū)域 。
◆PDA
二極管陣列(Photodiode Array,縮寫為PDA).光電二極管陣列是由多個二極管單元(象素)組成的陣列,單元數(shù)可以是102,256或1024。當信號光照射到光電二極管上時,光信號就會轉(zhuǎn)換成電信號。大部分光電二極管陣列都包括讀出/積分放大器一體式的集成化信號處理電路。光電二極管的優(yōu)點是在近紅外靈敏度高,響應(yīng)速度快;缺點是象元數(shù)較少、在紫外波段沒有響應(yīng)。
◆ 薄型背照式
薄型背照式電荷耦合器件(BT—CCD,Back Thinned Charge Coupled Device),采用了特殊的制造工藝和特殊的鎖相技術(shù)。首先,與一般CCD相比,硅層厚度從數(shù)百微米減薄到20μm以下;其次,它采用背照射結(jié)構(gòu),因此紫外光不必再穿越鈍化層。因此,不僅具有固體攝像器件的一般優(yōu)點,而且具有噪聲低,靈敏度高、動態(tài)范圍大的優(yōu)點。
BTCCD有很高的紫外光靈敏度,它在紫外波段的量子效率可以看到,在紫外波段,量子效率超過40%,可見光部分超過80%,甚至可以達到90%左右??梢姡?/span>BTCCD不僅可工作于紫外光,也可工作于可見光,是一種很的寬波段檢測器件。
◆狹縫
光源入口。狹縫面積影響通過的光強度。狹縫寬度影響光學分辨率。
◆暗電流
未打開光譜儀激發(fā)光源時,感光器件接收到的光電信號。主要影響因素有溫度,電子輻射等。
◆分辨率
光學分辨率定義為光譜儀可以分開的小波長差。要把兩個光譜線分開至少要把它們成象到探測器的兩個相臨象元上。分辨率依賴于光柵的分辨本領(lǐng)、系統(tǒng)的有效焦長、設(shè)定的狹縫寬度、系統(tǒng)的光學像差以及其它參數(shù)。光柵決定了波長在探測器上可分開的程度(色散),這對于分辨率來說是一個非常重要的變量。 另一個重要參數(shù)是進入到光譜儀的光束寬度,它基本上取決于光譜儀上安裝的固定入射狹縫或入射光纖芯徑(當沒有安裝狹縫時)。狹縫的尺寸有:10,25或50μm×1000μm(高)或100,200或500μm×2000μm(高)。在波長處,狹縫成象到探測器陣列上時會覆蓋幾個象元。而如果要分開兩條光譜線,就必須把它們色散到這個象尺寸加上一個象元。當入射光纖的芯徑大于狹縫的寬度時,分辨率就要由狹縫的寬度(有效寬度)來決定。
光譜儀分辨率可近似如下度量: R∝ M·F/W
其中M為光柵線數(shù) ,F為譜儀焦距, W為狹縫寬度。
◆色散
光譜儀的色散決定其分開波長的能力。光譜儀的倒線色散可計算得到:沿光譜儀的焦平面改變距離χ引起波長λ的變化,即: Δλ/Δχ=dcosβ/mF
這里d、β、F分別是光柵刻槽的間距、衍射角和系統(tǒng)的有效焦距,m為衍射級次。由方程可見,倒線色散不是常數(shù),它隨波長變化。在所用波長范圍內(nèi),變化可能超過2倍。
◆ 光柵和閃耀波長
光柵作為重要的分光器件,它的選擇與性能直接影響整個系統(tǒng)性能。光柵分為刻劃光柵、復(fù)制光柵、全息光柵等??虅澒鈻攀怯勉@石刻刀在涂薄金屬表面機械刻劃而成;復(fù)制光柵是用母光柵復(fù)制而成。典型刻劃光柵和復(fù)制光柵的刻槽是三角形。全息光柵是由激光干涉條紋光刻而成。全息光柵通常包括正弦刻槽??虅澒鈻啪哂醒苌湫矢叩奶攸c,全息光柵光譜范圍廣,雜散光低,且可作到高光譜分辨率。
光柵主要參數(shù):
1. 閃耀波長,閃耀波長為光柵大衍射效率點,因此選擇光柵時應(yīng)盡量選擇閃耀波長在實驗需要波長附近。如實驗為可見光范圍,可選擇閃耀波長為500nm。
2. 光柵刻線,光柵刻線多少直接關(guān)系到光譜分辨率,刻線多光譜分辨率高,刻線少光譜覆蓋范圍寬,兩者要根據(jù)實驗靈活選擇。
3. 光柵效率,光柵效率是衍射到給定級次的單色光與入射單色光的比值。光柵效率愈高,信號損失愈小。為提高此效率,除提高光柵制作工藝外,還采用特殊鍍膜,提高反射效率。
閃耀光柵
非閃耀光柵其能量分布與單縫衍射相似,大部分能量集中在沒有被色散的“零級光譜”中,小部分能量分散在其它各級光譜。零級光譜不起分光作用,不能用于光譜分析。而色散越來越大的一級、二級光譜,強度卻越來越小。
為了降低零級光譜的強度,將輻射能集中于所要求的波長范圍,近代的光柵采用定向閃耀的辦法。即將光柵刻痕刻成一定的形狀,使每一刻痕的小反射面與光柵平面成一定的角度,使衍射光強主大從原來與不分光的零級主大重合的方向,轉(zhuǎn)移至由刻痕形狀決定的反射方向。結(jié)果使反射光方向光譜變強,這種現(xiàn)象稱為閃耀。輻射能量大的波長稱為閃耀波長。光柵刻痕反射面與光柵平面的夾角,稱為閃耀角。每一個小反射面與光柵平面的夾角b保持一定,以控制每一小反射面對光的反射方向,使光能集中在所需要的一級光譜上,這種光柵稱為閃耀光柵。
◆帶寬
帶寬是不考慮光學像差、衍射、狹縫高度、掃描方法、檢測器像素寬度等因素,在給定波長從光譜儀輸出的波長寬度。它是倒線色散和狹縫寬度的乘積。
◆波長精度、重復(fù)性和度
波長精度是光譜儀確定波長的刻度等級,單位為nm。通常,波長精度隨波長變化。
波長重復(fù)性是光譜儀返回原波長的能力。這體現(xiàn)了波長驅(qū)動機械和整個儀器的穩(wěn)定性。
波長度是光譜儀設(shè)定波長與實際波長的差值。
◆F/#
F/#定義為光譜儀準直凹面反射鏡的直徑與焦距的比值。光通過效率與F/#的平方成反比,F/#愈小,光通過率愈高。